绿碳化硅微粉用于压电陶瓷抛光

发布时间:2022-03-24 09:20:10 浏览次数:

绿碳化硅微粉用于压电陶瓷抛光

       绿碳化硅微粉是一种硬度高、机械强度高、磨削力强的非金属磨料。对于压电陶瓷材料的研磨具有很大优势。
 
       压电陶瓷是将机械能和电能互相转换的功能陶瓷材料,广泛应用于光学、半导体、仪器仪表等领域。但是压电陶瓷具有脆性、易发生变形断裂、难以加工。在压电陶瓷的后道表面处理阶段,采用双面抛光研磨抛光机进行压电陶瓷晶片的研磨抛光。一般先用绿碳化硅W50,绿碳化硅W40,绿碳化硅W20,绿碳化硅W14等粒径的微粉对压电陶瓷进行分级打毛,研磨等表面处理。打毛完成后,晶片表面均匀,无划痕,粗糙度可以达到1.2-1.5um。在进行精细抛光精磨阶段,选用白刚玉W14,白刚玉W7,白刚玉W5微粉进行细磨,抛光后产品粗糙度在50nm以下。
 
       要想达到抛光无划痕的研磨效果,需要对绿碳化硅磨料的粒度进行严格控制,即颗粒的大小尽量一致,颗粒粒度范围窄。 如果有较大的颗粒,容易对陶瓷表面造成伤害,如果细粒多,会降低研磨的效率。 因此,经过水洗溢流分级的绿碳化硅微粉才是合适的磨料。
绿碳化硅微粉用于压电陶瓷抛光


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