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绿碳化硅常见的抛光方法，内容如下：
1、化学抛光：化学抛光是让材料在化学介质中表面微观凸出的部分较凹部分优先溶解从而得到平滑面。这种方法的优点是不需复杂设备，可以抛光任何形状复杂的工件。化学抛光的核心问题是抛光液的配制。
2、电解抛光：电解抛光基本原理与化学抛光相同，选择性的溶解材料表面微小凸出部分。与化学抛光相比可以消除阴极反应的影响。电化学抛光过程分宏观整平和微观整平。
3、流体抛光：流体抛光是依靠高速流动的液体及其携带的磨粒冲刷工件表面达到抛光的目的。常用方法有：绿碳化硅的金刚砂喷射加工、液体喷射加工、流体动力研磨等。流体动力研磨是由液压驱动，使携带磨粒的液体介质通过喷砂枪高速往复流过工件表面。介质采用在较低压力下流过性好的特殊化合物并掺上绿碳化硅制成，绿碳化硅可采用绿碳化硅的碳化硅粉末。
4、机械抛光：机械抛光是靠切削材料表面塑性变形去掉被抛光后的凸部而得到平滑面的抛光方法，一般使用油石条、羊毛轮、砂纸等，磨光片以手工操作为主，如回转体表面可使用转台等辅助工具，表面质量要求高的可采用精研抛的方法。精研抛是采用绿碳化硅特制的绿碳化硅，在含有绿碳化硅的研抛液中，紧压在工件被加工表面上做高速旋转运动。
5、磁研磨抛光：磁研磨抛光是利用磁性绿碳化硅在磁场作用下形成绿碳化硅刷，磨光片对工件的磨削加工。这种方法加工效率高，加工条件容易控制。
